1. adotta una struttura aperta, comoda per lo smontaggio e la manutenzione;

2. reticolo integrato o sistema di feedback a reticolo magnetico, la risoluzione è 0.1um, 0.5um, 1um, 5um per opzionale;

3 . adottano un motore lineare piatto a magneti mobili;

4. precisione di ripetizione fino a ±1um;

5. dimensioni ridotte e struttura semplice, adatta per carichi leggeri e occasioni di alta precisione;

6. si assemblano rapidamente agli stadi trasversali XY;